Les cibles de pulvérisation en alliage de nickel-bore sont des matériaux de revêtement par pulvérisation cathodique composés principalement de nickel (Ni) et de bore (B) grâce à un processus de densification de haute-pureté. Ils sont couramment utilisés dans les semi-conducteurs, les couches minces optiques et les cellules solaires. Des films minces fonctionnels de nickel-bore sont déposés sur des surfaces de substrat à l'aide de techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) telles que la pulvérisation magnétron.
Méthodes de préparation des cibles de pulvérisation en alliage à base de nickel-
Préparation des matières premières : la poudre de nickel de haute-pureté et la poudre de bore de haute-poudre de bore sont sélectionnées comme matières premières.
Formage : Le pressage isostatique à froid est couramment utilisé. La poudre est versée dans un moule élastique (tel qu'un moule en caoutchouc) et scellée. Ensuite, il est placé dans un récipient à haute-pression, et une haute pression isotrope (par exemple, 200-400 MPa) est appliquée à travers un milieu liquide (huile ou eau) pour le presser en un « flan vert » avec une certaine résistance.
Frittage : dans un environnement sous vide, une température élevée (généralement inférieure au point de fusion du nickel, environ 1 000 -1 200 degrés) et une pression unidirectionnelle sont appliquées simultanément à l'ébauche pour obtenir une masse d'alliage à haute densité.
Traitement ultérieur : À l'aide de tours, de fraiseuses, de rectifieuses, etc., les ébauches frittées sont traitées avec précision jusqu'aux dimensions finales requises par le client.
Applications des cibles de pulvérisation en alliage de nickel-bore
Revêtement de protection de surface : le dépôt de fines couches de nickel-bore sur les surfaces de pièces facilement usées telles que des roulements, des engrenages, des moules et des outils de coupe peut prolonger considérablement leur durée de vie.
Industrie électronique : grâce à sa résistivité réglable, il peut être utilisé pour fabriquer des résistances à couche mince de haute-précision et haute-stabilité-.
Industrie optique : En raison de ses propriétés denses et stables, il est parfois utilisé comme revêtement protecteur pour certaines lentilles optiques.
