Description des produits
La cible de pulvérisation de cuivre a les mêmes propriétés que le cuivre métallique (Cu). Le cuivre est un élément chimique avec le symbole Cu (du latin : cuprum) et le numéro atomique 29. C'est un métal mou, malléable et ductile avec une conductivité thermique et électrique très élevée. Un cuivre pur fraîchement exposé est orange-rosé. Le cuivre est utilisé comme conducteur de chaleur et d'électricité, comme matériau de construction et comme constituant de divers alliages métalliques. La cible de pulvérisation de cuivre est produite par la technologie de fusion, elle est largement utilisée dans les domaines des semi-conducteurs, des revêtements décoratifs et de l'emballage avancé.
Nous pouvons produire des cibles de pulvérisation en cuivre d'une pureté de 99,9 % à 99,9999 %, et la plus faible teneur en oxygène peut être utilisée pour le câblage de semi-conducteurs, etc. Nous produisons non seulement des cibles de pulvérisation en cuivre planes (génération maximale G8.5), mais également des cibles rotatives en cuivre, qui sont principalement utilisées pour l'industrie des écrans tactiles. Comme il est difficile de casser le grain, nous ne pouvons traiter qu'avec une très grande déformation et contrôler la croissance des jumeaux pour obtenir une microstructure fine et uniforme, ce qui garantit un taux d'érosion plus faible et une sensibilité à la formation de particules pendant la pulvérisation.
Voici deux micrographies de notre cible de pulvérisation de cuivre, la taille moyenne des grains étant < 50 μm
Spécifications du cuivre (Cu)
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type de materiau |
Cuivre |
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Symbole |
Cu |
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Poids atomique |
63.546 |
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Numéro atomique |
29 |
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Couleur/Apparence |
Cuivre, Métallique |
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Conductivité thermique |
400 W/m.K |
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Point de fusion (degré) |
1,083 |
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Coefficient de dilatation thermique |
16.5 x 10-6/K |
Cible de pulvérisation de cuivre et méthode de préparation
Le cuivre est purifié de 99,95 % à 99,99 %, 99,999 % et 99,9999 % par électrolyse multiple et fusion régionale. La pureté la plus élevée en Chine est d'environ 99,9999 % (6N). Avec des lingots de cuivre de haute pureté comme matières premières, le forgeage, le laminage et le traitement thermique des matières premières peuvent rendre les grains cristallins des lingots de cuivre plus petits et augmenter la densité pour répondre aux exigences des cibles en cuivre pour la pulvérisation cathodique. Le matériau en cuivre de haute pureté après le traitement de déformation est traité mécaniquement. Le traitement de la cible en cuivre nécessite une haute précision et une qualité de surface élevée, et il peut être transformé à la taille de cible requise par la machine de revêtement sous vide.
Matériaux de pulvérisation associés
Cible de pulvérisation CuNi
Cible de pulvérisation AlCu
Cible de pulvérisation Cu2ZnSnS4
Cible de pulvérisation CuNiTi
Cible de pulvérisation CuS
Cible de pulvérisation CuSn
Cible de pulvérisation CuZn
Cible de pulvérisation CoCu
Cible de pulvérisation Cu2O
Cible de pulvérisation CoCrZr
Cible de pulvérisation CoNiMn
Cible de pulvérisation CuO
Cible de pulvérisation AlSiCu
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