Pièces de rechange pour l'implantation d'ions Mo

L'implantation ionique est une technologie très importante dans la fabrication de circuits intégrés modernes, qui utilise une machine d'implantation ionique pour réaliser le dopage des semi-conducteurs. Elle utilise un fil de tungstène comme cathode pour émettre des électrons afin de bombarder les molécules de gaz contenant des éléments d'impureté spécifiques, produisant des atomes d'impureté spécifiques ionisés qui sont accélérés par un champ électrostatique et frappent la surface d'une plaquette de monocristal de silicium, puis implantés dans le semi-conducteur pour modifier les caractéristiques de conductivité et finalement former une structure de transistor.

En raison des propriétés chimiques stables à haute température, de la faible déformation thermique et de la longue durée de vie des matériaux en tungstène-molybdène, les composants de la source d'ions et les consommables des machines d'implantation ionique dans l'industrie des semi-conducteurs sont principalement constitués de matériaux en tungstène et en molybdène. Ces dispositifs comprennent des tubes de blindage pour les cathodes émettrices d'électrons, des panneaux d'émission, des tiges de fixation centrales et des plaques de fil dans la chambre à arc. Nous les appelons collectivement pièces en tungstène pour l'implantation ionique et pièces en molybdène pour l'implantation ionique.

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